1 產品概述:
卷繞式濺射設備,也稱為卷繞磁控濺射鍍膜機,是一種在真空環境下,利用磁控濺射技術將金屬、合金、化合物或陶瓷等材料沉積到連續卷繞的柔性基材(如塑料薄膜、金屬帶等)上的先進鍍膜設備。該設備主要由濺射室、卷繞系統、磁控靶及電源、樣品加熱系統、樣品退火系統、泵抽系統、真空測量系統、電控系統、氣路系統等組成。在濺射過程中,通過高能粒子轟擊靶材表面,使靶材原子或分子被濺射出來并沉積在基材上,形成所需的薄膜層。
2 設備用途:
卷繞式濺射設備具有廣泛的應用領域,主要包括但不限于以下幾個方面:
柔性電子:用于在柔性基材上鍍制各種介質膜、導電膜等,如ITO透明導電膜,廣泛應用于柔性線路板、柔性顯示器件等領域。
太陽能電池:在金屬帶上鍍制光學多層膜,用于制作薄膜太陽能電池,提高光電轉換效率。
包裝與防偽:在包裝材料上鍍制防偽膜層,提高產品的防偽性能和美觀度。
電容器:在電容器電極上鍍制金屬薄膜,提高電容器的性能。
3 設備特點
卷繞式濺射設備具有以下幾個顯著特點:
高效連續生產:設備采用連續卷繞的方式,實現了對柔性基材的連續鍍膜處理,大大提高了生產效率。
鍍膜質量高:磁控濺射技術具有鍍膜溫度低、膜層厚度可控、細膩、均勻、附著牢固等優點,能夠制備出高質量的薄膜層。
鍍膜材料范圍廣:可適用于多種材料的鍍膜處理,包括金屬、合金、化合物和陶瓷等。
4 技術參數和特點:
可根據工藝或生產性選擇各種模組。
通過任意、追加選擇模組,可實現各種用途。
在地面高度可以進行設備操作。
優秀的氛圍分隔性能和成膜工藝的改善,使高速率生產高品位的薄膜成為可能。
觸摸屏用配線膜、透明導電膜以及透明薄膜等。
FPC用電膜