NANO 36™
經(jīng)濟實惠的緊湊型濺射或熱蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)
Kurt J. Lesker Company® NANO 36™ 是我們優(yōu)化的入門級沉積系統(tǒng)。我們的腔室設計特別適合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面積，提供了實惠的價格點，同時保持了您期望從 KJLC 獲得的質(zhì)量。
NANO 36 與以下沉積技術兼容：
熱蒸發(fā)（最多四個 2 英寸船組件）。
Torus® 磁控濺射源（最多三個 2“ 或 3" 源）。
1cc 或 10cc LTE 有機沉積源（最多四個）。
兩個熱源和兩個 LTE 源的組合。
可根據(jù)要求提供定制配置。
KJLC的軟件允許用戶友好的配方創(chuàng)建，以及一個可靠、不間斷的處理模塊，無論計算機用戶界面的狀態(tài)如何，都可以完成過程。有關此直觀、且可靠的軟件包的更多信息，請參閱“軟件"選項卡。
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