1 產品概述:

   刻蝕設備是半導體制造、微電子加工及光電子器件生產中的關鍵設備之一。它利用化學或物理方法，通過選擇性去除材料表面的部分區域，以形成所需的圖案或結構。刻蝕設備的發展與光刻技術、互連技術等密切相關，是芯片制造流程中環節。隨著半導體工藝技術的不斷進步，刻蝕設備也在不斷升級，以滿足更高精度、更高效率、更低損傷的加工需求。

2 設備用途：

刻蝕設備的主要用途包括：

1. 半導體芯片制造：在集成電路（IC）制造過程中，刻蝕設備用于在硅片上刻蝕出晶體管、電容器、電阻器等微細電路結構。這些結構構成了芯片內部的電子元件，決定了芯片的功能和性能。

2. 平板顯示器制造：在液晶顯示器（LCD）和有機發光二極管顯示器（OLED）等平板顯示器的制造過程中，刻蝕設備用于制作像素、透明導電層等關鍵結構。

3. 微電子元件制造：刻蝕設備還廣泛應用于制造傳感器、MEMS（微機電系統）、納米器件等微小尺度的電子元件。

3 設備特點

刻蝕設備具有以下幾個顯著特點：

• 高精度：刻蝕設備能夠實現微米甚至納米級別的加工精度，確保芯片和其他微納器件的結構精確無誤。

• 高效率：通過先進的工藝技術和設備設計，刻蝕設備能夠在短時間內完成大量加工任務，提高生產效率。

• 低損傷：在刻蝕過程中，設備采用溫和的刻蝕方法和精確的控制技術，以減少對材料表面的損傷和破壞。

• 多功能性：刻蝕設備通常具有多種工作模式和加工能力，可以適應不同材料和結構的加工需求。

  4 技術參數和特點：

  除單腔之外，另可搭載有磁場ICP（ISM）或NLD等離子源、去膠腔體、CCP腔體等對應多種刻蝕工藝。

  為實現制程再現性及安定性搭載了星型電及各種調溫技能。

  擁有簡便的維護構造，提供清洗、維護及人員訓練服務等綜合性的售后服務體制。

  門的半導體技術研究所會提供完備的工藝支持體制。