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| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)customized
品牌華卓精科
廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所在地深圳市
更新時(shí)間：2024-09-06 14:14:17瀏覽次數(shù)：1169次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
半導(dǎo)體激光退火機(jī)是用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的一種設(shè)備。退火是一種熱處理過(guò)程，通過(guò)加熱半導(dǎo)體材料來(lái)改變其性質(zhì)，以實(shí)現(xiàn)所需的特性，如電導(dǎo)率、晶體結(jié)構(gòu)和應(yīng)力緩解。半導(dǎo)體激光退火機(jī)利用高能激光束來(lái)對(duì)半導(dǎo)體基片進(jìn)行精確和控制的加熱和修改。可定制，如有需求請(qǐng)聯(lián)系。
2. 設(shè)備特點(diǎn)
應(yīng)用范圍：對(duì)重?fù)诫s碳化硅（SiC）表面沉積的過(guò)渡金屬進(jìn)行退火，形成良好的歐姆接觸
加工尺寸：4inch、6inch
加工速度：1000mm/s
加工精度：±1μm平臺(tái)參數(shù)：行程300mm×300mm
重復(fù)定位精度：±0.001mm
激光器參數(shù):紫外
稼動(dòng)率:98%以上
重大故障間隙時(shí)間:＞1000H
良率:≥99.5%
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LSA 201 環(huán)境控制激光尖峰退火設(shè)備
Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 （LSA） 系統(tǒng)具有與 L |
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