1. 產(chǎn)品概述

該設(shè)備專為晶圓封裝及OLED制造中的清洗工藝而設(shè)計(jì)，通過多種清洗手段的結(jié)合，能夠?qū)崿F(xiàn)清洗效果。配合高效的清洗化學(xué)藥液，設(shè)備有效去除晶圓表面的顆粒物、有機(jī)物、金屬離子等各種雜質(zhì)，確保封裝和整體性能的可靠性和穩(wěn)定性。

在高壓水清洗的過程中，強(qiáng)大的水流能夠深入清洗晶圓表面的微小縫隙，進(jìn)一步去除附著的污染物。而常壓水清洗則為敏感材料提供了一種相對溫和的清洗方法，避免了因壓力過大而造成的潛在損傷。此外，兆聲波清洗技術(shù)通過產(chǎn)生高頻聲波產(chǎn)生微小氣泡，在清洗過程中有效去除難以清洗的頑固雜質(zhì)，從而提升整體的清洗效率。

二流體水清洗技術(shù)則通過將水與氣體混合，形成高度滲透的清洗介質(zhì)，進(jìn)一步增強(qiáng)了清洗的均勻性。同時(shí)，結(jié)合毛刷清洗與噴灑清洗劑的手段，可以針對特定的污染物進(jìn)行定點(diǎn)清洗，更加精確高效。這種多層次的清洗流程不但提升了清洗效果，也縮短了整體作業(yè)時(shí)間。

2. 產(chǎn)品優(yōu)勢

清洗機(jī)可以提供持續(xù)穩(wěn)定的液體壓力輸出，以保證工藝效果和產(chǎn)能。

在不損傷圖形的提下，提供較強(qiáng)的兆聲波能量，加速液體分子沖擊力，以去除深孔、深溝槽內(nèi)的污染物。
液體流量、壓力以及溫度等參數(shù)控制的穩(wěn)定性，為產(chǎn)品的一致性提供了有力支撐。

3. 應(yīng)用域：

封裝域中的表面顆粒污染物去除
TSV深孔內(nèi)含氟聚合物去除
OLED域中基板來料清洗、成膜清洗、硼磷清洗及蒸鍍基板清洗等