1. 產品概述：
VPG 200 / VPG 400 體積圖形發生器是光刻系統，為 i-line 光刻膠的多用途掩模制造而設計。它們支持所有標準的中小型面罩尺寸，大尺寸為 410 x 410 mm++2.
寫入模式 | I-QX系列 | 一代 | 二代 | 三代 |
寫作表現 | ||||
小結構尺寸 [μm] | 0.75 | 0.75 | 1 | 2 |
小行數和間距 [μm] | 1.5 | 1.5 | 2 | 4 |
地址網格 [nm] | 12.5 | 12.5 | 25 | 50 |
邊緣粗糙度 [3σ， nm] | 30 | 40 | 50 | 70 |
CD均勻度 [3σ， nm] | 55 | 65 | 75 | 110 |
拼接穩定性 [3σ， nm] | 30 | 60 | 70 | 100 |
第 2 層對準 [nm] | 225 | 225 | 350 | 500 |
寫入速度 [mm2/min] | 485 | 970 | 3150 | 6400 |
100 x 100 mm 的曝光時間2面積 [min] | 28 | 14 | 5.6 | 3.5 |
系統特點 | |
光源 | 355 nm 的高功率 DPSS 激光器 |
大基板尺寸 | 9 英寸 x 9 英寸/17 英寸 x 17 英寸 |
基板厚度 | 0 至 12 mm （可根據要求提供其他厚度） |
大曝光面積 | 205 x 205 毫米2/ 410 x 410 毫米2 |
自動對焦 | 實時自動對焦系統（光學和氣動） |
自動對焦補償范圍 | 高達 80 μm |
流量箱 | （閉環）溫控環境試驗箱 |
對準 | 用于測量和對準的相機系統和軟件包 |
其他功能和選項 | 2D載物臺貼圖和數據、Mura校正、邊緣檢測器、多種數據輸入格式（DXF、CIF、GDSII、Gerber等）、可選的自動掩模處理、可選的Zerodur®載物臺和特殊卡盤 |
系統尺寸 | |
系統 / 電子機架 | |
寬度 [mm] | 2605 / 800 |
深度 [mm] | 1652 / 650 |
高度 [mm] | 2102 / 1800 |
重量 [kg] | 3550 / 180 |
安裝要求 | |
電氣 | 400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相 |
壓縮空氣 | 6 - 10 巴 |
化工儀器網