1. 產品概述
UV-300HC是一款高性能的盒式裝載UV臭氧清洗機，用于生產。這個行業先的系統有2個裝載盒，可以達到200-300nm/min的高灰化率。該系統利用紫外線照射、高濃度臭氧和可控階段加熱的組合，溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導體（GaN、SiC、GaAs和InP）、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。
2. 設備用途/原理
大加工尺寸為?240 mm (?3" x 5, ?4" x 3, ?8" x 1)200 - 300 nm/min的高灰化率。加熱階段加快了清洗速度，實現了寬廣的工藝溫度范圍。通過調整平臺和石英擴散板之間的間隙，可以提高基板的均勻性。緊湊，使用小的潔凈室空間簡單，在大氣壓下操作--不需要真空系統。柔軟、干燥的工藝不會對基材造成電損傷。內置臭氧催化劑裝置，可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。
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