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深圳市矢量科學儀器有限公司

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8英寸單片常壓/減壓硅外延系統

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號Esther/Eris 系列

品牌北方華創

廠商性質經銷商

所在地北京市

更新時間：2024-09-05 11:20:14瀏覽次數：250次

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Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統，傳輸系統和工藝模塊設計可兼容多種工藝用途，友好的人機交互和安全性設計保障系統穩定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機型，可滿足不同客戶需求。

1. 產品概述

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統，傳輸系統和工藝模塊設計可兼容多種工藝用途，友好的人機交互和安全性設計保障系統穩定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機型，可滿足不同客戶需求。

2. 設備用途/原理

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統，Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統，傳輸系統和工藝模塊設計可兼容多種工藝用途。友好的人機交互和安全性設計保障系統穩定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機型，可滿足不同客戶需求。

3. 設備特點

晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料 硅，適用工藝 常壓：N&P 常壓硅外延，減壓：埋層外延、選擇性外延、多晶外延，適用域 科研、集成電路。

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