供貨周期 |
現貨 |
貨號 |
WB3344 |
應用領域 |
化工,電子,電氣,綜合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
品牌 |
KYOSAN |
型號 |
RFK100ZD-TE2 |
L/N |
WB3344 |
頻率 |
13.56MHz |
輸出功率 |
10KW |
設備狀態 |
Refurblished |
KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發生器,是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源。
KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發生器,是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計,能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻,CVD和濺射等應用,堅固耐用,為等離子工藝提供了優秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射頻電源廣泛應用在半導體薄膜工藝中,優良的成膜能力,能夠在一定程度上提升產能。嚴格的制造工藝讓該型射頻電源具有優秀的射頻精準控制,堅固耐用。
KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 規格
設備型號:RFK100ZD-TE2
AC輸入:3 phase ~ ,200 ~ 220V,50/60Hz,44A
RF輸出:13.56MHz,10KW
諧波失真:≤ -45dB
輸出:MOS-FET
輸出接口:HN type
散熱方式:水冷散熱
水冷進水流速:8L/min
設備重量:70kg
通信接口:RS-232C、MB-Signal