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江蘇神州半導體科技有限公司
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當前位置:江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源(RF)>>KYOSAN RFK Series>> RFK100ZD-TE2KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW

KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號RFK100ZD-TE2

品       牌其他品牌

廠商性質經銷商

所  在  地揚州市

更新時間:2023-11-23 13:05:39瀏覽次數:341次

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供貨周期 現貨 貨號 WB3344
應用領域 化工,電子,電氣,綜合 主要用途 RF GENERATOR
品牌 KYOSAN 型號 RFK100ZD-TE2
L/N WB3344 頻率 13.56MHz
輸出功率 10KW 設備狀態 Refurblished
KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發生器,是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源。

KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發生器,是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計,能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻,CVD和濺射等應用,堅固耐用,為等離子工藝提供了優秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射頻電源廣泛應用在半導體薄膜工藝中,優良的成膜能力,能夠在一定程度上提升產能。嚴格的制造工藝讓該型射頻電源具有優秀的射頻精準控制,堅固耐用。

KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 規格

設備型號:RFK100ZD-TE2

AC輸入:3 phase ~ ,200 ~ 220V,50/60Hz,44A

RF輸出:13.56MHz,10KW

諧波失真:≤ -45dB

輸出:MOS-FET

輸出接口:HN type

散熱方式:水冷散熱

水冷進水流速:8L/min

設備重量:70kg                                                               

通信接口:RS-232C、MB-Signal


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