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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>KYOSAN RFK Series>> KYOSAN RFK30ZCPS1KYOSAN 射頻電源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | WB1024 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | KYOSAN | 型號 | RFK30ZCPS1 |
| L/N | WB1024 | 頻率 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | 3KW | 設備狀態 | Refurblished |
KYOSAN 射頻電源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發生器，是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源。RFK 系列射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優秀的可靠性。RFK系列射頻電源廣泛應用在半導體薄膜工藝中，具有優良可靠的成膜能力，可在一定程度上提升產線效率。
KYOSAN 射頻電源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW RF Generator 規格參數
設備型號：RFK30ZCPS1
AC 電源輸入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，19A
RF 射頻輸出：13.56MHz，3KW
諧波失真：≤ -45dB
輸出：MOS-FET
輸出接口：HN type
散熱方式：水冷散熱
水冷進水流速：6L/min
設備重量：41kg
通信接口：RS-232C、INTERFACE
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