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大氣等離子清洗機包括等離子發生器，變壓器和等離子噴槍。等離子發生器是系統的核心控制部件，而噴槍可以根據工作環境的不同選擇固定噴槍、旋轉噴槍或雙頭旋轉噴槍。固定噴槍適合處理窄而深的處理面，而旋轉噴槍或多頭旋轉噴槍則適合寬幅的表面。
大氣等離子清洗機真空腔體保養
等離子腔體清潔時產生的污物大部分都接近電子級別，會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”，腔底掉落更嚴重。對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落，用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭，其次腔體導入N2和O2，用等離子體清除腔體內殘余物，工作10min。
電極與托板架的保養
托板架和電極長時間使用后會附著氧化層，同時采用等離子體處理烴基材料時，一段時間后在托板架、電極，RF導電桿上會積累一層薄的烴基殘留物，這些殘留物和氧化層是無法用酒精擦拭掉的。應依據附著物的量對電極、托板架進行翻新維護能保證清洗的穩定。清洗材料要求：氫氧化鈉、硫酸、城市用水和蒸餾水。注意：不要使用手磨機、砂紙或磨蝕性噴砂處理等機械方法清潔；氫氧化鈉溶液會與鋁發生劇烈的化學反應，應小心謹慎以確保僅在所需的時間內清除沉積物；反應中會生成具有潛在爆炸性的氫氣，因此工作區域應保持良好的通風。
真空泵的保養
查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，發現油位接近很低紅線刻度，加油到紅標線上下之間位置。
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