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| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本unozawa干式真空泵用于清潔工藝非腐蝕 TS系列 特點介紹
這是一款“用于清潔工藝的ECO干式真空泵"，具有低功耗和出色的耐用性。
非常適合需要清潔真空、無油反擴散和高可靠性的非腐蝕性氣體應用。
日本unozawa干式真空泵用于清潔工藝非腐蝕 TS系列 規格參數
?低功耗
由于是多級羅茨型，因此可以大幅降低功耗。
?高耐久性
由于是帶有回流冷卻機構的多級羅茨型，因此具有優異的耐久性。
?泵內不會產生清潔真空油的反擴散或灰塵。
?低噪音、低振動
轉子經過嚴格平衡，標配排氣消音器。
?散熱性低
由于采用水冷方式，因此采用向周圍散發較少熱量的結構。
?采用密封結構密封電機，泄漏率小于E10 - 6Pa?m3/sec。
?維護間隔長
由于氣體接觸部分沒有滑動部件，因此可以長期連續運行。
?真空蒸鍍裝置、濺鍍裝置、
負載鎖合
裝置、等離子清洗裝置
、硅單晶拉制裝置、電子
束加工機
、氣體循環/回收裝置
、氣體置換
裝置、真空成型裝置
、真空吸附輸送裝置
、真空包裝裝置
、真空脫氣裝置等消泡
、真空冷卻
、分析設備、理化實驗設備
、低溫泵粗抽及再生
、各類粗抽、TMP背泵
、等潔凈真空設備
請將此真空泵用于清潔真空泵應用。
不得排放含有腐蝕性氣體、有毒氣體、易爆、溶劑等的氣體。
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