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一、耐腐蝕金屬密封氣體質量流量計及流量控制器 產品概述：

      對于一些腐蝕性較高的氣體，橡膠類密封無法滿足現場應用要求，我司已開發出全金屬密封的流量測控產品。同時，配備有高性能電磁比例控制閥，毫秒級快速響應，并且可滿足在一定的壓力條件下，穩定控制流量，確保良好的精度。

     我們也可根據您的應用參數，為您定制PID調節功能，確保在保持低壓損的同時實現快速、穩定的控制。

二、產品應用：

真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金

環保 / 食品包裝 / 生物醫藥 / 新材料 / 工業制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統

三、耐腐蝕金屬密封氣體質量流量計及流量控制器 產品參數：

滿量程范圍：2SCCM～30SLM
準 確  度：±0.5%F.S
線       性：±0.5%F.S
重復精度：±0.2%F.S
響應時間：流量控制器：<0.2s
數 字  量：RS232/485，MODBUS協議
模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V
供       電：±15VDC，24VDC
工作溫度：0～50℃
工作壓差：0.05~0.3Mpa （流量控制器）
耐       壓：3MPa/10MPa
漏       率：1×10-9SCCSHe
溫度系數：±0.025%F.S/℃
底座材質：不銹鋼
密封材質：金屬密封
接       頭：φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …VCR連接

如果所需性能要求與上述性能不同，請另行溝通定制。