供貨周期 |
現貨 |
貨號 |
RD5060Z-01 |
應用領域 |
電子,電氣,綜合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
品牌 |
MKS |
型號 |
RD5060Z |
P/N |
RD5060Z-01 |
射頻 |
60MHz |
輸出功率 |
2000W |
設備狀態 |
Refurbished |
MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 是經過現場驗證的具有優良工藝穩定性和控制能力的高性能射頻電源。
MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 是經過現場驗證的具有可靠性能和穩定輸出能力的優秀射頻發生器,在實機驗證中體現出了優秀的工藝穩定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠實現對射頻輸出的精準控制,廣泛應用在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中,且具有優秀表現。RD5060Z射頻電源具有優秀的成膜能力,在半導體薄膜工藝中,具有成膜速度快,效率高,質量好的優點,在一定程度上能夠提升產線效率和成品良率,具有十分廣泛的應用。
MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 參數規格
設備品牌:MKS
設備型號:RD5060Z
AC 電源輸入:3 phase~ ,480V,15A
RF 射頻輸出:DUAL 2.0KW,60MHz
通訊接口:CEX In/Out,Profibus,EtherNet,Sync In/Out,Reserved,RS-232C
設備散熱:水冷散熱
設備重量:445kg,98lbs