MKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W RF Generator是經過長期驗證的具有穩定輸出能力的高性能高頻射頻電源，能夠實現對射頻輸出的精準控制。MKS LVF系列射頻電源有優秀的成膜能力，廣泛的應用在半導體制程的薄膜工藝中。MKS 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優秀的可靠性。

MKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W 參數規格

設備品牌：MKS

設備型號：LVF3560A

AC 電源輸入：3 phase~ /PE，200~208V，30A，50/60Hz

RF 射頻輸出：60MHz，3500W

通信接口：Analog I/O，RS-232C，Remote Panel

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：水冷流速 2gal/min（7.5L/min），水流溫度 5℃~35℃，MAX水冷壓力 60PSI/414kPa

設備重量：32kg（70lbs）