KYOSAN 高壓直流電源 HPK6R3ZI DC Power Supply 是經(jīng)過長期現(xiàn)場驗證的具有優(yōu)秀工藝穩(wěn)定性和控制能力的高壓直流電源，廣泛用作半導體制造裝置、平板顯示器、太陽能面板等制造工藝的直流電源，并且支持無弧反應(yīng)濺射。

KYOSAN HPK Series 設(shè)備特點

1.配備了CPU的數(shù)值控制與通信功能，同時操作非常簡單

2.可以在DC電壓的廣泛范圍內(nèi)供應(yīng)額定電力，適用于高速電弧阻斷功能必*光學膜（SiO2,TiOx）、耐磨損膜（SiOx,Al2O3）以及透明傳導膜（ITO）的成膜工藝

3.支持與RF系統(tǒng)之間的耦合功能

KYOSAN 高壓直流電源 HPK6R3ZI DC Power Supply 技術(shù)參數(shù)

型號：HPK6R3ZI-TE8-PULSE-B

AC 電源輸入：200 ~ 220V，3 phase ~，50/60Hz，20A

DC 電源輸出：1200V，4A

散熱方式：風冷散熱                                                                                                                                                  

設(shè)備重量：50kg

通信接口：DeviceNet、DIO、Debug