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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>MKS Spectrum Series>> MKS Spectrum 11002射頻電源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | SPEC 11002-10235 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | MKS | 型號 | Spectrum?11002 |
| M/N | SPEC?11002-10235 | P/N | 660-080455-300 |
| 頻率 | 1.8-2.17MHz | 輸出功率 | 11000W |
| 設備狀態 | Refurblished |
MKS 射頻電源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW Spectrum RF Generator 射頻發生器是MKS的一款新型射頻發生器平臺，可提供1.5kW ~ 11kW的各種頻率功率，以滿足半導體行業薄膜加工日益增長的需求。高可靠性的設計確保了設備改進后的工藝性能和良率。MKS Spectrum Series 設備功率控制精確，響應時間快，熱穩定性好，精度高。MKS Spectrum 系列射頻電源具有優秀的工藝穩定性，精準的控制能力和優良可靠的成膜能力，成膜速度快，在半導體制程薄膜工藝中被廣泛應用。
MKS 射頻電源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW Spectrum 技術參數
AC 電源輸入：200 ~ 208V，3 phase ~，60A，50/60Hz
RF 射頻輸出：8500W（Max.），1.8 ~ 2.17MHz
電機扭力：8.5 ~ 10.0 LB. FT. 120 ~ 140 KGF/CM
散熱方式：水冷散熱
水冷進水需求：水流（Min.）11.4L/Min（3GAL/Min）
水冷水溫：＋35℃（Max.）
進水水壓：60 PSI / 414 kPa（Max.）
通信接口：POD / RS -232
設備重量：57kg （125lbs）
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