MKS 直流電源 DCG-200Z OPTIMA 10KW DC Power Supply 是經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證，久經(jīng)機(jī)臺(tái)測(cè)驗(yàn)的高可靠性和優(yōu)良性能的直流電源。MKS DCG系列直流電源具有一個(gè)前置主斷路器，電源和故障狀態(tài)led，和一個(gè)后部八腳連接器，輸出功率10KW，直流電機(jī)扭力Max 12 in/LB 。該系列直流電源設(shè)備具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和控制能力，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)輸出功率的精準(zhǔn)控制，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中。

MKS DCG Series 設(shè)備特點(diǎn)

1.前置主斷路器

2.電源和故障狀態(tài)等

3.八腳連接器

MKS 直流電源 DCG-200Z OPTIMA 10KW 技術(shù)參數(shù)

設(shè)備品牌：MKS

設(shè)備型號(hào)：DCG-200Z OPTIMA                                                                                                            

AC 電源輸入：3 phase~，480V（+5% ~ 8%），30A，50/60Hz

總輸出功率：10KW

單路輸出功率，10KW（Max.）

通信接口：SERIAL、DeviceNet、Analog、M/S COMM

散熱方式：風(fēng)冷散熱

設(shè)備重量：24kg（53lbs）