AE 直流電源 ASCENT 60K DC Power Supply采用主動電弧管理，而非通用預設電弧響應，每 1 kW 輸出能量小于 0.4 mJ，通過電弧條件確保工藝穩定且可重復，針對更高功率應用的主/從配置，更高的功率等級，減少電弧損壞。隨著制造技術的進步發展，新材料和陰極設計對工藝穩定性和鍍膜的可重復性提出了更大的挑戰。對于任何工藝材料和陰極設計，Ascent Series電源都能提供穩定且重復性高的功率輸出。AMS 采用*的電弧管理，即使在提供高額功率的同時也可以使工藝快速恢復。極快的恢復速度，還意味著電弧產生的能量極低，從而避免襯底損害。

AE 直流電源 ASCENT 60K DC Power Supply 參數規格

設備品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：Ascent 60K

AC 電源輸入：3 phase~ +PE，~480V，100A，50/60Hz

DC 電源輸出：800V，140A，60KW

通訊接口：Service，Ethernet，User，RS-232C，Remote，Ext Arc Link，M/S Link

設備散熱：水冷+風冷

水冷進水需求：MIN進水水流 4.0GPM，MAX進水水壓 6.9bar（690KPa）

AE ASCENT 60K 優點：

1.獲取優質鍍膜和高產量

2.減輕薄膜、襯底和設備損壞

3.在苛刻的電弧條件下，可實現穩定的產量和供電

4.易于集成和控制

AE ASCENT 60K 特點

1.Arc Management System  (AMS) 技術 — 客戶可以對金屬和陶瓷靶材進行預設

2.Set Point Compensation 技術

3.Arc Sync 技術 — 主/從搭配最多可至 12 臺電源

4.Ethernet、EtherCAT®、DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、Ethernet/IP 和模擬通信