供貨周期 |
現貨 |
貨號 |
06170372 |
應用領域 |
化工,電子,電氣,綜合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
型號 |
RFS-1305A |
L/N |
06170372 |
頻率 |
13.56MHz |
輸出功率 |
500W |
設備狀態 |
Refurblished |
ULVAC射頻電源 RFS-1305A 13.56MHz 500W 射頻發生器通過采用高效率的射頻放大器,使設備整體結構緊湊,重量輕,自帶自動匹配控制器功能,功率控制和匹配系統控制可與主機單獨進行。
ULVAC射頻電源 RFS-1305A 13.56MHz 500W RF Generator 射頻發生器通過采用高效率的射頻放大器,使設備整體結構緊湊,重量輕,自帶自動匹配控制器功能,功率控制和匹配系統控制可與主機單獨進行。主要應用領域包括濺射和化學汽相淀積、等離子體刻蝕、射頻離子源、中和劑等。
ULVAC射頻電源 RFS Series 特點
采用高效放大器:通過具有良好的功率轉換效率的射頻電路結構,節約能源
高速自動匹配:用高速算法實現高速自動匹配
射頻功率發生器內部配備了自動匹配功能:與發電機組本身匹配的系統控制是可能的,還能手動操作射頻功率發生器和匹配箱,配合內部控制器操作
支持靈活的控制配置:可對外進行模擬和串行通信控制
高可靠性:設計中結合了多年的設備制造經驗
ULVAC射頻電源 RFS-1305A 13.56MHz 500W RF Generator 規格
AC 輸入:AC200V~220V,1 phase,50/60Hz
RF 輸出:500W,13.56MHz,50 Ohm
Max反射波功率:100W
控制精度:額定輸出±2%以下
散熱設計:風冷散熱
尺寸大小:240 * 495 * 150 mm
設備重量:11kg