COMDEL 高頻射頻電源 CX600S 13.56MHz 600W RF GENERATOR 是經(jīng)過長期驗證的、可靠的高性能、高頻率的射頻發(fā)生器。COMDEL CX Series 射頻電源的輸出功率范圍在600W~2500W，射頻輸出頻率為2MHz~30MHz，頻率調(diào)諧能力高達10帶寬。該系列設(shè)備的固態(tài)設(shè)計具有高可靠性，擁有成本低。COMDEL CX Series的設(shè)計是為了滿足RF驅(qū)動等離子體系統(tǒng)在半導(dǎo)體加工中的性能需求，應(yīng)用包括蝕刻、RIE、平行板、ICP、RF濺射、CVD和PVD，以及工業(yè)系統(tǒng)中的感應(yīng)和介質(zhì)加熱過程，以及太陽能光伏應(yīng)用。

COMDEL 高頻射頻電源 CX Series 特點

1.高頻射頻電源，頻率為2MHz~30MHz

2.久經(jīng)測試的可靠的真空等離子設(shè)備

3.較高的射頻調(diào)諧能力

COMDEL 高頻射頻電源 CX600S 13.56MHz 600W 規(guī)格

1.AC輸入：230V

2.射頻輸出：600W，175 VRMS，50 OHM

3.水冷進水需求：MAX 水溫 25℃，MAX 水流 1.9L/min，MAX 水壓 60 psi(240kPa)

4.通訊接口：J1 REMOTE I/O ; J2 RS-232c