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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>COMDEL>> CLX-2500COMDEL 低頻射頻電源 CLX2500 350KHz 2500W
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | FP1336R4 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 型號 | CLX-2500 | M/N | FP1336R4 |
| P/N | 0190-13837 | 頻率 | 350KHz |
| 輸出功率 | 2500W | 設備狀態 | Refurblished |
COMDEL 低頻射頻電源 CLX2500 350KHz 2500W 射頻發生器是一款優秀、可靠的低頻射頻電源，CLX系列的設計是為了滿足RF驅動等離子體系統在半導體加工中的性能需求，應用范圍包括蝕刻、RIE、平行板、ICP、RF濺射、CVD和PVD，以及工業系統中的感應和介質加熱過程。
CLX系列低頻射頻電源的功率范圍從600W到10KW，固定頻率從20KHz到2MHz，頻率調諧能力高達10帶寬。該系列設備的固態設計具有高可靠性，擁有成本低。
COMDEL 低頻射頻電源 CLX SERIES 特點
1.低頻射頻電源，頻率為20KHz~2MHz
2.穩定、可靠、低功率，功率范圍為600W~10KW
3.真空系統
4.較高頻率調諧能力，高達10
COMDEL 低頻射頻電源 CLX2500 350KHz 2500W 規格
AC輸入：480V~，3phase，50/60Hz，7.5A
輸出頻率：350KHz，24VDC 輸出電流
射頻輸出：2500W，354 VRMS，50 OHM
水冷進水需求：Min 水流 6L/min，Max 水壓414 kPa（60 psi），Max 水溫25℃
通訊接口：Analog I/O
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