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參考價 | 面議 |
參考價:¥ 面議
更新時間:2024-08-22 13:05:13瀏覽次數:679評價
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 綜合 |
一、雙腔室超高真空雙磁控測射系統核心參數:
價格區間:150萬-200萬
儀器種類:磁控濺射鍍膜機
產地類別:國產
應用領域:微電子學
基片尺寸:4寸(可定制)
靶材:鉭
基片溫度范圍:RT-900oC
成膜厚度均勻性:基板刻蝕均一性<3%
極限真空:極限真空UltimatePressure<3E-9Torr
二、磁控濺射技術原理:
在陰極靶的表面上方形成一個正交電磁場。當濺射產生的二次電子在陰極位降區內被加速為高能電子后,并不直接飛向陽極,而是在正交電磁場作用下作來回振蕩的近似擺線的運動。高能電子不斷與氣體分子發生碰撞并向后者轉移能量,使之電離而本身變成低能電子。這些低能電子最終沿磁力線漂移到陰極附近的輔助陽極而被吸收,避免高能電子對極板的強烈轟擊,消除了二級濺射中極板被轟擊加熱和被電子輻照引起的損傷,體現出磁控濺射中極板“低溫"的特點。由于外加磁場的存在,電子的復雜運動增加了電離率,實現了高速濺射。
三、雙腔室超高真空雙磁控測射系統技術特點:
成膜速率高,基片溫度低,膜的粘附性好,可實現大面積鍍膜
四、售后服務:
保修期:1年
是否可延長保修期:否
現場技術咨詢:有
免費培訓:1.設備出廠前,提供至少2人一周的設備原廠培訓。2.設備在現場完成安裝調試
免費儀器保養:有需要可安排
保內維修承諾:保修期內(除天災和人為損害外)部件、元件費用、出差費用均由我司承擔
報修承諾:質保期內出現故障時我司將及時響應,并在8小時內派技術人員到現場解決故障;
五、技術參數:
六、工藝展示: