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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 20萬-50萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,電子,印刷包裝,電氣 |
產品簡介
詳細介紹
嵌入式膜厚檢測儀 FE-3
嵌入式膜厚檢測儀可高精度測量具有波長依存性的多層膜！
產品信息
特 點
•采用分光干涉法
•搭載高精度FFT膜厚解析系統
•使用光學光纖，可靈活構筑測量系統
•可嵌入至各種制造設備。
•實時測量膜厚
•可對應遠程操作、多點測量
•采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測量項目
·多層膜厚解析
用 途
•光學薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）
•FPD相關（光刻膠、SOI、SiO2等）
設備構成
單點型
•半導體晶圓的面內分布測量
•玻璃基板的面內分布測量
多點型
•實時測量
•流向品質管理
•真空室適用
導線型
•實時測量
•寬度方向品質管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
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