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公司動態

Burkert寶帝參展4月9日深圳國際半導體產業及應用展覽會

閱讀:1425          發布時間:2024-3-28
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展會介紹



2024年深圳國際半導體產業及應用展覽會(SZSEMI)將于4月9-11日在深圳福田會展中心隆重舉行,作為中國科技創新中心,深圳是我國半導體產品的集散中心、應用中心和設計中心。近年來,國內對半導體產業重視力度逐漸加大,SZSEMI是華南地區乃至全國的全威性、專業化半導體行業品牌盛會,本屆展會專注于整合半導體行業創新產品、技術、解決方案,為半導體行業的推廣和交流提供一站式平臺。




邀請函



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Bürkert 解決方案



Bürkert 有適用于半導體行業的精確控制的流體處理系統。可根據客戶的需求定制系統,Bürkert 涵蓋了整個半導體制造工藝過程中從單個產品組件到實現精準調控的緊湊型系統解決方案,再到實現工藝過程的自動化、數字化。從空間要求、安裝條件以及機械、電氣和通信接口,無論是單個產品還是整體系統都可以wan美適配您的半導體工藝流程。

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濕法工藝

Bürkert 用于電導率、pH 值和流量測量的產品可為您在濕法蝕刻工藝中提供優異的解決方案。此外,隔膜閥可以用于控制濕法蝕刻工藝中的工藝流體。


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物理氣相沉積 ( PVD )

化學氣相沉積 ( CVD )

Bürkert 冷卻系統結構緊湊,可為您的設備量身定制。


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氮封系統

Bürkert 自動氮氣計量添加解決方案具有可選的液位和流量測量功能,可防止去離子水污染,并確保超純水的電阻值穩定保持在 18.3MΩ*CM。


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二氧化碳碳酸化器

Bürkert 系統將二氧化碳精確地計量添加到用于晶圓切片機或工藝過程的水中。



真空泵

Bürkert進氣系統能夠可靠地監測和控制

氬氣進入腐蝕性氣體可能干擾

或損壞泵功能的區域。



尾氣處理

Bürkert 系統可在大流量范圍內精準
控制燃氣與氧氣的比例。



分選測試冷卻

Bürkert 比例閥 / 流量儀表精確控制

冷卻/加熱回路中的水的流量。


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期待您蒞臨展會現場交流

Bürkert展位號:1E 155



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