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應用領域 | 電氣 | 電源 | 220v |
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半導體電阻率測試儀 電阻測量儀
BD-86A型半導體電阻率測試儀是根據四探針原理,作為普及型半導體電阻率測試儀器適合半導體器材廠、材料廠用于測量半導體材料(片狀、棒狀)的體電阻率,方塊電阻(薄層電阻);也可以用作測量金屬薄層電阻。經過對用戶、半導體廠測試的調查,根據美國ASTM標準的規定,在電路和探頭方面作了重大的修改和技術上的許多突破。它更適合于半導體器材廠工藝檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要,成為普及型的電阻率測試儀,具有測量精度高、穩定性好、輸入阻抗高、使用方便、價格低等特點。
儀器分為電氣箱和測試架兩部分,儀器電氣箱由直流數字電壓表、高抗干擾、高度隔離性能的電源變換裝置,高穩定、高精度的恒流源所組成。測量結果由LED數字顯示、零位穩定、輸入組抗高,儀器并設有自校功能,在片狀材料測試時,具有系數修正功能,使用方便、測試架結構新穎、外形美觀,探針為合金材料,配用寶石導向,具有測量精度高、游移率小、耐磨和壽命長的特點,而且壓力可調恒定,備有手動探針測試臺,自動控針測試臺,供用戶選擇。
半導體電阻率測試儀 電阻測量儀
本儀器為國內*新研制出的普及型半導體電阻率測試儀器,特別適合于薄片材料測量。儀器主要技術指標
測量范圍:電阻率 10-3∽103 分辯率為10-4Ω—cm,可擴展到105Ω—cm
方塊電阻 10-2Ω/104Ω/□,分辯率為10-3Ω/□,可擴展到108Ω/□
薄層金屬電阻 10-4∽105Ω,分辯率為10-4Ω—cm
可調半導體材料尺寸:直徑:Φ15 ∽ Φ 100 mm
長度:150mm
3.測量方式:軸向、斷面均可
4.數字電壓表:(1)量程:20mV(分辯率:10μV)、
200mV(分辯率:100μV)、
2V(分辯率:1mV)、
(2)測量誤差:±0.3%讀數±2字
(3)輸入阻抗:大于108Ω
(4)顯示3 1/2位紅色發光二極管(LED)數字顯示,
0 ∽ 1999.具有極性、過載、小數點、單位自動顯示
5.恒流源:由交流供電,具有良好的防泄漏隔離功能
直流電流:0 ∽ 100mA連續可調
量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
分辯率:10μA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA
電流誤差:(±0.3%讀數±2字)
6.電性能模考核誤差:<±0.3% 符合ASTM指標
7.測試探頭: (1)探針間距:S = 1mm
(2) 探針機械游移率: ±0.3%
(3) (3)壓力恒定可調
8.電源:交流220V±10% 50HZ或60HZ 功率消耗 < 30W
9.電氣箱外形尺寸:199×440×280mm