詳細介紹
1400℃三溫區真空氣氛管式爐以硅碳棒為發熱元件;雙層風冷結構;高純氧化鋁纖維真空吸附一次成型;高密度硅碳棒真空擠壓成型;剛玉管外徑為60、80mm。三個溫區分別由三個獨立的溫控系統來控制且都為PID30段程序化控溫??赏ㄟ^調節三個溫區的控溫程序使爐管內溫場形成一溫度梯度,爐管兩端裝有不銹鋼法蘭,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,此系列真空氣氛管式爐可以用CVD或PVD方法來生長納米材料和制作各種薄膜。
主要用途:
三溫區真空氣氛管式爐是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品. ,廣泛用于電子陶瓷產品的預燒、燒結、鍍膜、高溫熱解低溫沉積(CVD)工藝等。
產品名稱 | 1400℃三溫區真空氣氛管式爐 |
產品型號 | HY1400℃ |
工作溫度 | 1300℃ |
高溫度 | 1400℃ |
爐管尺寸 | Φ60mmX1000mm |
樣品規格 | 外型尺寸:860×470×720mm |
溫控系統 | 溫控方式:三個溫控系統單獨控制,都是采用PID方式調節30段可編程自動控制; |
溫控保護 | 具有超溫及斷偶報警功能 |
加熱速率 | 0~20 ℃ / 分 |
溫區長度 | 每個加熱區200 mm包括20mm間距,總溫區長度: 600 mm |
真空密封系統 | 儀器標配中有一套不銹鋼真空密封法蘭,出氣和進氣端都安裝有不銹鋼截止閥,真空度:10-2 torr (用機械泵 );10-5 torr(用分子泵 ) |
加熱元件 | 1500ºC級硅碳棒 |
工作電壓 | AC 220V 單項 50 Hz |
大功率 | 10KW |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |
測溫元件 | S型單鉑銠熱電偶 |
凈 重 | 160 Kg |
爐 管 | 高純度剛玉管 |
爐殼溫度 | ≤45℃ |
提供相關配件 | 真空泵、真空法蘭、真空表、塞磚 |