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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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美國PIE Scientific專注研發(fā)*實驗室用等離子儀器，用于SEM/TEM樣品清潔、光刻膠蝕刻、等離子體增強沉積、表面處理與活化。我們的宗旨是：將半導體和核工程研究中開發(fā)的等離子技術(shù)集成到經(jīng)濟實用的實驗室用等離子儀器。
專為去除SEM & TEM樣品的碳氫污染而設計。*的雙清洗模式（immersion和downstream）能夠處理各種不同的樣品，從嚴重污染的電子光學孔徑光闌到各種脆弱易損樣品，如石墨烯、碳納米管、類金剛石碳膜以及多孔碳支持膜銅網(wǎng)上的TEM樣品。石英樣品托板上的孔洞可以安裝標準SEM樣品托。特別設計的適配器可以清潔不同廠家的TEM樣品桿。
特點：
1. 系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化
2. 13.56MHz高頻射頻發(fā)生器
3. 7英寸觸摸屏控制界面，全自動操作
4. 標配75W版本，可選150W版本
5. 標配2路氣體輸入，可選第三路氣體輸入
6. 可選與FEI、JEOL、HITACHI等TEM樣品桿配套的適配器
7. AC輸入：通用(110~230V, 50/60Hz)
除了Tergeo EM型SEM & TEM樣品清潔等離子清潔儀，另有Tergeo Basic基本型等離子清潔儀和Tergeo Plus型大腔室等離子清潔儀
三、技術(shù)參數(shù)
1、控制系統(tǒng)
1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。
2）程序控制：可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟
2、反應腔體
1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙。
2）腔體尺寸：內(nèi)徑110毫米，外徑120毫米，深度280毫米，壁厚：5毫米。
3）前觀測窗：前方開口，5毫米厚石英玻璃可視窗口，可觀測內(nèi)腔等離子狀態(tài)，并帶有防真空泄漏和避免高壓的聯(lián)鎖裝置，有效保護操作的安全性；
3、射頻電源
1）射頻頻率：13.56MHz
2）射頻功率：標配0~75W；可選配0~150W。從0瓦到150瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，自動阻抗匹配。
3）射頻輸出可以工作在脈沖方式，脈沖比可以從1/255調(diào)到255/255（連續(xù)輸出）。
4、等離子源
1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度。
2）電阻耦合電離方式。
3）外置電極設計，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5、氣體控制
1）氣路控制：標配一路MFC；可選配三路MFC；
2）質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間控制氣體流量；
3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。
4）自動放氣流程控制可以保護真空泵不受影響。
5）高性能氣壓計可以測量1e-4 Torr到大氣壓之間的氣壓。
6）6mm氣體接口。
6、真空系統(tǒng)
1）KF25法蘭接口用來連接真空泵。
2）真空要求：抽速：>1.7m3/h；
3）低氣壓：<=200mTorr.
