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邁可諾技術(shù)有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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公司信息

聯(lián)系人：
葉盛
電話：
4008800298
手機(jī)：
13681069478
傳真：
地址：
洪山區(qū)珞獅南路147號(hào)未來(lái)城A棟
郵編：
個(gè)性化：
www.mycro.net.cn
網(wǎng)址：
www.mycro.cn
商鋪：
http://yis360.com/st119375/
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POLOS450SPIN勻膠機(jī)POLOS
SPIN勻膠機(jī)POLOS
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) POLOS450
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市

更新時(shí)間：2024-05-16 16:38:27瀏覽次數(shù)：4107

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!

【簡(jiǎn)單介紹】
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子
SPIN勻膠機(jī)POLOS450（英文名：Spin Coater）適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜
詳細(xì)介紹：勻膠機(jī)（英文名：Spin Coater& Spin Processor）
行業(yè)俗稱：勻膠臺(tái)、勻膠機(jī)、旋涂?jī)x、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、甩膠機(jī)
【詳細(xì)說(shuō)明】

1、  SPIN勻膠機(jī)POLOS450勻膠機(jī)工作原理：

勻膠機(jī)（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

2、SPIN勻膠機(jī)POLOS勻膠機(jī)型號(hào)及技術(shù)參數(shù)如下：

型號(hào)

SPIN150i

SPIN200i

POLOS300

POLOS450

POLOS600

基片范圍

直徑160mm or 4?方片

直徑260mm or 6?方片

直徑360mm or 8?方片

直徑460mm or 350mm方片

直徑600mm or 430mm方片

程序段數(shù)

無(wú)限制

無(wú)限制

無(wú)限制

無(wú)限制

30個(gè)程序

操作步數(shù)

無(wú)限制

無(wú)限制

無(wú)限制

無(wú)限制

90個(gè)步驟

旋轉(zhuǎn)速度

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-1500rpm ±1rpm steps

0-1,500 rpm ±1rpm steps

旋轉(zhuǎn)精度

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

旋轉(zhuǎn)方向

順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

順時(shí)針、逆時(shí)針

加速度

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

≤1500rpm時(shí)取決于負(fù)載

500 rpm/sec

旋轉(zhuǎn)時(shí)間

無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps

無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps

無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps

無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps

1 to 999 sec/step

腔體直徑

202 mm

302 mm

402 mm

502 mm

642mm

外形尺寸

(w*h*d )

274 x 250 x 451 mm

380 x 307 x 559mm

430 x 310 x 650mm

795 x 638 x 922mm

800 x 1,450 x 1,650mm

觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

設(shè)備重量

14Kg

20Kg

32Kg

75Kg

 

電源參數(shù)

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

三、勻膠機(jī)的特點(diǎn)：

1、該勻膠機(jī)采用德國(guó)*技術(shù)：
2、勻膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計(jì)，這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；
3、勻膠機(jī)真空Chuck經(jīng)精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過(guò)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
5、勻膠機(jī)腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮?dú)鈮毫赏ㄟ^(guò)調(diào)壓閥和節(jié)流閥實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用。



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