臺式光刻機
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- 公司名稱 江蘇雷博科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/11/7 18:46:31
- 訪問次數 298
產品標簽
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臺式光刻機參數:
1.最大曝光面積:160mm*160mm
⒉.曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
3.對準精度:± 1um(標準晶圓拋光片)
4.光源強度:35mW/cm2
5.曝光波長:LED光源(進口燈珠,壽命>1萬小時)
6.曝光方式:定時(倒計時方式)
7.掩模樣片相對運動范圍:X:優于±5mm;
8.Y:優于±5mm;0:優于±6°
9.掩模尺寸:7英寸,樣片規格:6英寸(晶圓片)
10.數字設定對準間隙和曝光間隙
11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續可調
12.對準方式:自動對準,可根據客戶需求,增加對準標記的類型,累計不超過4組
13.自動輸片:機械手自動輸片(專用樣片機械手臂及片叉),含預對準定位功能
14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數字設定)
15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能CCD+遠心鏡頭+顯示器對準,光學合像
16.調平接觸壓力通過傳感器保證重復
17.雙物鏡可調距離范圍:30mm-130mm