半導體參數測試儀4200A-SGS特點

• 用于 DC IV、CV 和脈沖 IV 測量類型的高級測量硬件

• 立即使用 Clarius 軟件中所含的數百種用戶可修改應用程序測試開始測試

• 自動實時參數提取、數據繪圖、分析函數

準確的 C-V 表征

使用半導體參數測試儀4200A-SCS的電容-電壓單元 (CVU) 4215-CVU 測量一位數飛法。通過將 1 V AC 電源集成到 CVU 架構中，4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的頻率下進行低噪聲電容測量。

特點

• 能夠驅動1 V AC 電源電壓的 CV 表

• 1 kHz 頻率，分辨率從1 kHz 到 10 MHz

• 測量電容、電導和導納

• 使用 4200A-CVIV 多路開關可測量四個通道

生物傳感器檢定

生物傳感器或 bioFET 將對分析物的生物響應轉換為電信號。集成到 4200A-SCS 中的 Clarius 軟件包括一個用于測試 bioFET 的項目。以此為起點檢定生物傳感器的傳輸和輸出特性，并從這里展開工作。

飛法電容測量

使用 4215-CVU 模塊測量亞毫微微法拉電容。通過驅動 1 V AC，在測量 1 fF 電容器時，4215-CVU 的噪聲水平可低至 6 attofarad。這只是 Clarius 軟件隨附的用于測量電容和提取重要參數的數十種應用程序之一。

半導體和 NVM 可靠性

通過全面脈沖 I-V 檢定在測試中利用新技術。 4200A-SCS 為 NVRAM 技術提供支持和即用型測試，從浮動門電路閃存到 ReRAM 和 FeRAM，不一而足。 電流和電壓雙源和測量功能同時支持瞬態和 I-V 域檢定。

提供適合高阻抗應用的 C-V 測量功能

采用 Keithley 的自定義極低頻 C-V 技術分析高電阻樣本的電容。 該技術可通過僅使用源測量單元 (SMU) 儀器實現應用，同時可與 4210-CVU 結合使用，執行更高頻率測量。

特點

• .01 ~ 10 Hz 頻率范圍，1 pF ~ 10 nF 靈敏度

• 3? 位典型分辨率，典型值 10 fF

使用長電纜或電容式夾具時進行測試

當測試需要非常長的電纜或具有較高電容的夾具時，請使用 4201 或4211-SMU。這些 SMU 非常適合連接 LCD 測試站、探測器、開關矩陣或任何其他大型或復雜的測試儀。現場可安裝版本使您無需將設備返回服務中心即可增加容量。

材料電阻率

使用集成了 SMU 的 4200A-SCS，可通過四點同軸探頭或范德堡法輕松測量電阻率。 內含測試可自動重復執行范德堡計算，節省您寶貴的研究時間。 10aA 的上限電流分辨率和大于 10----16 歐姆的輸入阻抗可提供更準確和精準的結果。

MOSFET 檢定

4200A-SCS 可容納所有必要的儀器，用于通過組件或晶圓測試執行全面的 MOS 設備檢定。 內含測試和項目可以解決 MOSCap 的氧化物厚度、門限電壓、摻雜濃度、移動離子濃度等問題。 只需觸摸一個儀器盒中的按鈕，即可運行所有這些測試。