XPS 作為一種重要的表面分析方法，廣泛應(yīng)用于固體材料表面的元素組分和化學態(tài)的研究，例如電池材料，催化劑，集成電路，半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷和玻璃等，可滿足從研發(fā)到失效分析的廣泛分析需求。VersaPrabe4 采用了全新設(shè)計的高靈敏分析器，靈敏度是上一代的2倍，具有更低的檢測限，能夠?qū)崿F(xiàn)從微區(qū)到大面積的高靈敏度化學分析。微聚焦掃描X射線和SXI影像，通過類似SEM的SXI影響可以作為樣品導(dǎo)航，實現(xiàn)100%精準地定義微區(qū)分析位置

PHI Versaprobe 4 X射線光電子能譜儀應(yīng)用范圍：

包括表面的元素與化學態(tài)分析（氫和氦除外）。

表面物種的化學狀態(tài)的識別，包括有機和無機材料，導(dǎo)體和絕緣體。

深入薄膜中的組成元素分布概況，包括半導(dǎo)體、薄膜結(jié)構(gòu)，磁介質(zhì)薄膜，光學鍍膜，裝飾涂料，和耐磨涂層。

在必須避免會對電子束技術(shù)有破壞性效果時的樣品成分分析。