KLA的D系列探針式臺階儀Alpha-Step D-600，可測量納米至1200um臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃的分辨率。

   二、 功能

  設備特點

   臺階高度：幾納米至1200μm

   低觸力：0.03至15mg

   視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

   梯形失真校正：消除側視光學系統引起的失真

   圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

   緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀

   軟件：用戶友好的軟件界面

   主要應用

   臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度

   紋理：2D粗糙度和波紋度

   形式：2D翹曲和形狀

   應力：2D薄膜應力

    應用域

   大學，研究實驗室和研究所

   半導體和復合半導體

   SIMS：二次離子質譜

   LED：發光二管

   太陽能

   MEMS：微電子機械系統

   汽車

   醫療設備

   三、應用

   臺階高度

  Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1200μm的2D和3D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。Alpha-Step 系列具有低觸力功能，可以測量如光刻膠的軟性材料。

   紋理：粗糙度和波紋度

   D系列探針式臺階儀Alpha-Step D-600測量2D和3D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數。

   外形：翹曲和形狀

  Alpha-Step D-600可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量，例如在半導體或化合物半導體器件生產過程中，多層沉積層結構中層間不匹配是導致這類翹曲產生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內的結構高度和曲率半徑。