探針式表面輪廓儀

布魯克探針式表面輪廓儀（又稱“臺階儀”）歷今四十載，積累大量專有技術。從傳統的二維表面粗糙度和臺階高度測量，到更高級的三維表面成像和薄膜應力測試，Dektak臺階儀適用面極廣，為用戶提供準確性高，重復性佳的測量結果。

在教育、科研領域和半導體制程控制，Dektak廣泛用于膜厚、應力、表面粗糙度和面形的測量。近幾年，Dektak系統已經成為發展的太陽能電池市場越的測試工具，也被許多主要的光伏太陽能電池制造商所認可。

DektakXT

桌面型探針式表面輪廓儀

布魯克DektakXT®臺階儀設計創新，實現了更高的重復性和分辨率，垂直高度重復性高達4埃。這項測量性能的提高，達到了過去四十年Dektak®體系技術創新的，更加穩固了其行業中的地位。不論應用于研發還是產品測量，在研究工作中的廣泛使用是的DektakXT地功能更強大，操作更簡便易行，檢測過程和數據采集也更加完善。技術的突破也實現了納米尺度的表面輪廓測量，從而可以廣泛的應用于微電子器件，半導體，電池，高亮度發光二極管的研發以及材料科學領域。

探針式輪廓儀的黃金標準

DektakXT®探針式輪廓儀革命性的突破設計創新，實現了垂直高度重復性高達4埃，數據采集能力提高了40%。這一里程碑的創新和突破，使得DektakXT實現了納米尺度的表面輪廓測量，從而可以廣泛的應用于微電子器件，半導體，電池，高亮度發光二極管的研發以及材料科學領域。

技術創新四十余載，不斷突破用攀高峰

Dektak品牌是*基于微處理器控制的輪廓儀，*實現微米測量的臺階儀，*可以達到3D測量的儀器，*個人電腦控制的輪廓儀，*全自動300mm臺階儀。現在，全新的DektakXT延續了這種開創性的風格，成為一臺采用具有具有單拱龍門式設計，配備HD攝像機，并且利用64位同步數據處理模式完成測量和操作效率的臺階儀。

提高測量和數據分析速度

*采用*高速的直接驅動掃描樣品臺，DektakXT在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下，大大縮短了每次掃描的間隔時間，將數據采集處理的速度提高40%。另外，DektakXT采用布魯克具有64位數據采集同步分析的Vision64，可以提高大范圍3D形貌圖的高數據量處理速度，并且可以加快數據濾波和多次掃描數據庫分析的速度。

提高操作的可重復性

使用單拱龍門結構設計更堅硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。DektakXT會把系統和環境噪音引起的測量誤差降到，能夠更穩定可靠的掃描高度小于10nm的臺階，獲得其形貌特征。

完善的數據采集和分析系統

與DektakXT的創新性設計相得益彰的配置是布魯克Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上簡潔的用戶界面，具備智能板塊，可視化的使用流程，以及各種參數的自助設定以滿足用戶的各種使用要求，快速簡便的實現各種類型數據的采集和分析。

簡便易行的實驗操作系統

DektakXT新穎的探針的部件自動對準裝置，可以盡量避免用戶在裝針的過程中出現針尖損傷等意外。為盡可能滿足所有應用的需求，布魯克提供各種尺寸的標準探針和特制探針。

高效率的保證

DektakXT的測量重復性為工程師們提供準確的薄膜厚度和應力測量，使其可以調節刻蝕和鍍膜工藝來提高產品的優良率。

DektakXT儀器特性

的性能和優于4埃（<4 Å）的測量重復性

· 單拱龍門式設計實現了突破性的掃描穩定性

· 先進的”智能化電子器件”實現了低噪聲的新*

高效率且易于使用

· 直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程

· *的傳感器設計使得在單一平臺上即可實現超微力和較大的力測量

· 自對準的探針設計使用戶可以輕而易舉地更換探針