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納米級運動臺

產品型號：RBN150系列

產品應用：納米級運動臺應用于微納加工、測試測量及光纖對準等領域。

產品特點：

<<  非接觸式直驅結構驅動

<<  抗蠕動交叉滾柱導軌導向

<<  百納米級定位精度

<<  納米級微動步距

<<  高動態性能

<<  結構可接受定制

產品用材設計

精密運動臺采用非接觸式直線直驅電機驅動，非常適合要求高精度的需求，其不會與磁鐵發生不良反應，在低速運行時也能保持平穩，在高速狀態系也不會產生振動。直驅電機具有零間隙、零摩擦和良好的動態性能等特點。

抗蠕動交叉滾柱直線導軌導向，滾柱是線接觸，比滾珠接觸面積大，工作時比較平穩；交叉排列,多方向受力時比較穩定；該結構可以把平臺高度降低，結構緊湊，減小阿貝誤差的影響。

非接觸式光柵閉環反饋，優化考慮熱膨脹的設計，這種緊湊是結構設計，在有限的空間內具有魯棒性和準確度，獲得重復定位精度±75nm，微動步進5nm.

Z軸采用低摩擦氣缸配重，有效的提升了垂直方向上的性能。

精密控制

配合業界上主導的控制器和驅動器相結合，可提供優異的伺服性能、*的控制算法，從而提高動態性能。控制器有誤差補償功能。

定制化設計

可定制用于真空環境下的版本。

根據應用可配置大理石基座、隔振臺、光學平臺等整套系統方案。

產品參數表