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氣浮運動臺的精度指標：
直線臺：定位精度、重復定位精度、直線度、平面度、Pitch/Roll/Yaw，見下圖。
直線度：運動臺在水平方向移動時于垂直水平軸線的左右方向偏差；
平面度：（又稱垂直于直線度）運動臺在水平方向移動時于垂直于水平軸線上下方向的偏差；
Pitch：圍繞X方向的角度誤差；
Roll：圍繞Y軸方向的角度誤差；
Yaw：圍繞Z方向的角度誤差。
轉臺：定位精度、重復定位精度、軸向跳動、徑向跳動及傾角誤差，見下圖。
軸向跳動：轉臺的旋轉軸同軸向發生的誤差；
徑向跳動：轉臺在軸向位置垂直于旋轉臺旋轉軸發生的誤差；
傾角誤差：相對于轉臺旋轉軸在角度方向上的誤差。
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