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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>實驗室用反應設備>其它合成反應>CVD1200C-II-SL 2 石墨烯制備設備雙溫區滑軌式CVD系統

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CVD1200C-II-SL 2 石墨烯制備設備雙溫區滑軌式CVD系統

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 合肥康帕因設備技術有限公司是應材料界老客戶呼吁而成立的專業致力于材料制備、真空鍍膜、真空檢測、等離子清洗、鍍膜等設備的研發、生產型企業。公司擁有過硬的技術團隊,可在材料研究、真空檢漏、真空鍍膜、等離子清洗等領域為您排憂解難。
CPI 技術力量來源于材料類工業生產設備要求,以及與國外同行業間的技術合作,產品設計*,注重細節,質量可靠,售后無憂。CPI設備廣泛應用于新能源材料,金屬材料,磁性材料,半導體材料,陶瓷材料,電化學,薄膜材料,CVD,PECVD ,石墨烯,碳納米管,碳納米線,光學材料,齒科等研究領域。
CPI將工業生產設備技術要求應用于實驗設備,設備性能更加穩定可靠,工藝重復性強。
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CPI企業文化:厚德載物,自強不息。以人為本,敬職敬業。
CPI經營理念:誠信務實,創新致遠。品質*,服務至上。




熱處理設備,高溫爐、CVD/PECVD、真空系統、晶體、耗材等

產地類別 國產

石墨烯制備設備技術參數

 

 

 

 

 

 

 

 

 

雙溫區滑軌爐LFT1200C-II 200D50

爐體結構

石墨烯制備設備雙溫區滑軌式CVD系統采用雙層殼體并帶有風冷系統,使其爐體表面溫度都小于55℃

爐底安裝一對滑軌,可手動滑動,以便滿足特殊工藝的快速升降溫的要求。

爐管尺寸

Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。)

功率

5kW

輸入電壓

220VAC 單相 50/60Hz

加熱元件

Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)

溫度

溫度:1200℃ 

額定溫度:1100℃

升溫速率

 ≦10℃/min(推薦)

加熱區長度度

兩個加熱區的長度都是200mm

分別由獨立的溫控系統控制

恒溫區長

· 100+100mm(±1℃)

·可獲得較長恒溫區間

控溫精度

·          ±1℃

快速連接法蘭

·         Φ50快結式不銹鋼真空法蘭

·         打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便
另配備有可調節高度的法蘭支架

 

 

預熱爐

功率

·         1kw

加熱區

·         100mm

溫度

·         1200℃

工作溫度

·         200-800℃(可根據實際工藝需求調整)

 

 

五路質子流量控制系統

MFC-5Z

電壓

220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質

316不銹鋼

量程

50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據工藝要求提供多種量程選擇)

工作溫度

5~45℃

外型尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H) mm

電壓

AC220V/50Hz單相

功率

23W

 

 

真空系統

LVU-10

殼體尺寸

·         600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

大承載量

·         1000 Lbs 

抽氣速率

·         10m³/h

·         極限真空度:10-1Pa

·         雙層立式油污過濾器(PE材質)與真空泵連接

質保期

一年質保期,(相關耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件)

 

 

 

 

使用注意事項

· 石墨烯制備設備雙溫區滑軌式CVD系統爐管內氣壓不可高于0.02MPa

·       

· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度<1100℃

· 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)



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