主要特點(diǎn)：

Triglav^TM—超高分辨率電子光學(xué)鏡筒

TriLens^TM三物鏡系統(tǒng)

EquiPower™技術(shù)進(jìn)一步提高電子束的穩(wěn)定性

的TriSETM技術(shù)具有三個(gè)SE探測(cè)器采集二次電子信號(hào)

的TriBE^TM技術(shù)具有三個(gè)BSE探測(cè)器選擇不同角度的信號(hào)進(jìn)行采集。

擴(kuò)展的低真空模式樣品室氣壓能達(dá)到500Pa，可用于不導(dǎo)電樣品的成像

電子束減速技術(shù)（BDT）在低至50eV下仍具有高分辨率成像能力

超高分辨率0.7nm@15keV  1.0nm@1keV

高束流極短的分析工作距離

新的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍能使電子束流高達(dá)400nA，并能實(shí)現(xiàn)電子束能量的快速改變。所有的探測(cè)器的*分析工作距離均為5mm，短的工作距離同時(shí)也保證了分析時(shí)的高分辨率。

電子束實(shí)時(shí)追蹤技術(shù)^TM

對(duì)工作距離，放大倍數(shù)等所有光學(xué)參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)地精確計(jì)算，對(duì)束班和束流大小進(jìn)行連續(xù)的控制及實(shí)時(shí)優(yōu)化。

技術(shù)特色：

Triglay^TM電子光學(xué)鏡筒

TriLens^TM透鏡系統(tǒng)，TriSE^TM+TriBE^TM探測(cè)器系統(tǒng)和EquiPower^TM管理系統(tǒng)。

TriLens^TM透鏡系統(tǒng)：（a）超大視場(chǎng)觀察的中間鏡（b）高分辨無漏磁分析物鏡（c）超高分辨率物鏡（60度浸沒式物鏡）

TriLens^TM成像模式：超高分辨率模式、分析模式、景深模式、大視野模式

TriLens^TM透鏡系統(tǒng)中的電子束無交叉技術(shù)保證了超低加速電壓下的分辨率，0.7nm（加速電壓15kV），1nm（著陸電壓1 kV），1.2nm（著陸電壓200V）。

TriSE^TM+TriBE^TM，共可獲得6中圖像，包含不同的信息，可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需要靈活選擇。

EquiPower^TM管理系統(tǒng)：特殊的散熱系統(tǒng)能夠保證電子鏡筒具有*的穩(wěn)定性，對(duì)做一些耗時(shí)長(zhǎng)的應(yīng)用（如SEM-FIB的三維重構(gòu)）非常理想。