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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>電子顯微鏡>透射電子顯微鏡(透射電鏡/TEM)> 場發射電鏡

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場發射電鏡

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怡星歡迎您 Star Joy Limited

怡星公司成立于2004年,主要從事專業儀器代理。從業十年來獲得國內廣大客戶的信賴與支持。我們的服務項目包括儀器銷售丶維修丶保養丶實驗技術開發丶應用技術開發等等。我的團隊擁有*的知識丶豐富的經驗丶熱誠的服務態度,是您選購儀器設備的Z佳夥伴。

怡星公司Star Joy Limited主要代理品牌有:JEOL日本電子丶日本力士科RHESCA丶日本怡星IS全自動磨拋機丶英國牛津Oxford等世界產品。主要銷售產品為各式掃描電子顯微鏡,氬離子研磨儀丶全自動磨拋機丶可焊性測試儀等行業相關儀器。

營業據點

東莞市協美電子有限公司

東莞市協美電子有限公司 怡星(中國)有限公司

怡星公司Star Joy Limited在華轉投資機構包括:怡星(中國)有限公司,其子公司為東莞市協美電子有限公司。營業辦事處包括上海丶東莞丶香港丶臺北等地區。為您提供*的優質服務。

JEOL 日本電子

怡星(中國)有限公司

怡星Star Joy Limited

東莞市協美電子有限公司Star Joy Limited主要代理JEOL 日本電子SEM、OXFORD 英國牛津、日本RHESCA公司產品,并提供使用客戶儀器相關技術轉移及專業的維修保養。讓您享受進口儀器的*性能及怡星的在地優質服務。


JSM-7800F Prime場發射電子顯微鏡

JSM-7800F Prime采用新開發的超高分辨率GBSH模式,達到了世界zui高水準的分辨率。浸沒式肖特基Plus電子槍,將zui大探針電流從200nA提高到了500nA。

浸沒式肖特基Plus場發射電子槍

電子槍和低像差聚光鏡的優化組合,實現了更高的亮度,能有效采集電子槍中發射的電子,即使在低加速電壓下也能獲得數 pA~數10 nA 探針電流,保持zui小的物鏡光闌就可以進行納米尺寸的高分辨率觀察、快速元素面分布及EBSD分析。

JSM-7800F Prime場發射掃描電子顯微鏡
JSM-7800F Prime場發射掃描電子顯微鏡

利用GBSH(GENTLE BEAM SUPER HIGH RESOLUTION)觀察樣品表面

以前的GB※模式經過改進后,可以對樣品施加更高的電壓,這樣在低加速電壓下也能獲得超高分辨率的圖像。從樣品的淺表面觀察到納米尺寸的元素分析,GBSH能根據各種不同的應用選擇加速電壓。※Gentle Beam(GB) 通過給樣品加以偏壓(GB),對入射電子有減速、對釋放出的電子有加速作用。

通過GENTLE BEAM (即柔和光束GB模式)觀察樣品的淺表面

給樣品加以偏壓(GB),對入射電子有減速、對釋放出的電子有加速作用。即使入射電子束到達樣品時的能量很低,也可以獲得高分辨率、高信噪比的圖像。如果利用能施加更高偏壓的GB模式,用數十電子伏能量的入射電子束,就可以進行更高分辨率的觀察。

JSM-7800F Prime場發射掃描電子顯微鏡
JSM-7800F Prime場發射掃描電子顯微鏡

通過多個檢測器獲取樣品的所有信息

JSM-7800F配有四種檢測器:高位檢測器(UED) 、高位二次電子檢測器(USD)、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED)。UED過濾器的電壓不同,二次電子和背散射電子的數量會改變,因此可以選擇電子的能量,USD檢測被過濾器彈回的低能量電子,BED通過檢測低角度的背散射電子,能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。

 

應用實例

利用GBSH進行觀察

JSM-7800F Prime 標配了GBSH模式。下圖是高定向熱解石墨(HOPG)解理面的二次電子像,到達樣品時的能量為1keV,左圖中樣品偏壓為-2kV,右圖中樣品偏壓為-5kV。 可以看出利用GBSH(樣品偏壓-5 kV)模式觀察,HOPG的微細結構更加清晰,達到的分辨率更高。

以前的技術 樣品偏壓2KV

技術 樣品偏壓5KV

 

產品規格

分辨率 0.7 nm(15 kV)
0.7 nm(1 kV)
3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm)
倍率 ×25 ~ ×1,000,000(SEM)
加速電壓 0.01kV ~ 30kV
樣品照射電流(探針電流) 數pA~500nA
自動光闌角*控制透鏡 內置
檢測器 高位檢測器(UED)
低位檢測器(LED)
能量過濾器 UED過濾器電壓可變功能內置
Gentle Beam (GB模式即柔和光束) (樣品偏壓) 內置
數字圖像 1,280 x 960 像素, 800 x 600 像素
樣品交換室 由TYPE2A構成
樣品臺 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動
X-Y X:70mm, Y:50mm
傾斜 -5 ~ +70°
旋轉 360°
工作距離 2mm to 25mm
真空系統 SIP 2臺、TMP、RP
節能設計 正常運行時: 1.3kVA
節能模式時: 0.8kV

 

JSM-7800F的物鏡采用的是靜電場和靜磁場疊加的超級混合式物鏡(SHL),由于減少了色差及球差,*地提高了低加速電壓下的分辨率。此外,SHL不會對樣品形成磁場影響,因此觀察磁性材料的樣品和進行EBSD測試可以不受制約。



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