JSM-7610F 場發射掃描電子顯微鏡價格
- 公司名稱 東莞市協美電子有限公司
- 品牌
- 型號 JSM-7610F
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2018/6/6 19:43:57
- 訪問次數 2270
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通過半浸沒式(semi-in-lens)物鏡進行高分辨率觀察和分析 半浸沒式(semi-in-lens)物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細;浸沒式(in-lens)肖特基場發射電子槍壽命長,能獲得穩定的電流,這兩者的結合使高分辨率觀察和高空間分辨率分析能夠兼顧。 | |
通過Gentle Beam(柔和光束),以能量極低的入射電子束觀察樣品的淺表面 通過給樣品加以偏壓并照射電子束,能夠利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以能量為數百電子伏的入射電子束對樣品的淺表面進行高分辨率觀察,這是迄今為止未能實現的。 | |
High Power Optics(高性能電子光學系統)能進行快速、高精度的分析 電子光學系統采用了High Power Optics(高性能電子光學系統)。不僅能進行高分辨率觀察還可以進行穩定、快速、高精度的元素分析。 |
應用實例
利用半浸沒式(semi-in-lens)物鏡進行高分辨率觀察 樣品:Pt催化劑 加速電壓:15kV | |
利用半浸沒式(semi-in-lens)物鏡進行高分辨率觀察 樣品:納米碳管的STEM像 加速電壓:30kV | |
利用Gentle Beam 觀察樣品的淺表面 樣品:濾紙 加速電壓:0.5eV | |
利用Gentle Beam 觀察樣品的淺表面 樣品:介孔二氧化硅 | |
利用半浸沒式(semi-in-lens)物鏡進行高空間分辨率分析 樣品:LED截面(100nm以下多層結構的EDS分析) |
產品規格
分辨率 | 1.0nm (15kV) , 1.3nm (1kV) , 分析當中 3.0 nm (15 kV、 束流電流 5 nA) | ||
倍率 | 25 to 1,000,000 | ||
加速電壓 | 0.1kV to 30kV | ||
探針電流 | 數 pA ~ 200nA | ||
自動光闌角*控制透鏡 | 內置 | ||
檢測器 | 高位檢測器(SED)、低位檢測器(LDD) | ||
能量過濾器 | SP r-能量過濾器 | ||
Gentle Beam(樣品偏壓) | 內置(施加樣品偏壓 0~ 2kV) | ||
樣品臺 | 5軸馬達驅動, 全對中測角樣品臺 | ||
型 | Type IA 2 | Type II (Optional) | Type III (Optional) |
X-Y | 70mm×50mm | 110mm×80mm | 140mm×80mm |
傾斜 | -5° to ~+70° | -5° to ~+70° | -5° to ~+70° |
旋轉 | 360°endless | 360°endless | 360°endless |
WD | 1.0mm ~ 40mm | 1.0mm ~ 40mm | 1.0mm ~ 40mm |
真空系統 | Two SIPs, TMP, RP |