應用領域 | 綜合 |
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產品詳細資料
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,精度高、靈敏度高、方便測量
光源采用氦氖激光器,功率穩定、波長精度高
儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件,方便用戶使用
儀器采用USB接口與電腦連接
測量范圍 | 薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10 | 偏振器方位角范圍 | 0°- 180°讀取分辨率為0.05° |
入射光波長 | 632.8nm | 偏振器步進角 | 0.014°/步 |
入射角調節范圍 | 20°- 90°精度為0.05° | 測量膜厚 | ±1nm |
光學中心高 | 80mm | 折射率重復性精度 | ±0.01 |
測量厚度zui小示值 | ≤1nm | 外形尺寸 | 590×390×290(mm) |
允許樣品尺寸 | φ10-φ140mm,厚度≤15mm | 主機重量 | 25kg |
TPY-1實驗主機、電控系統、USB接口、二氧化硅膜樣片、配套軟件
* 計算機及打印機(需另配)