高純氣體分析儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測(cè)器，該檢測(cè)器通過氦放電發(fā)射連續(xù)輻射光進(jìn)行光電離、高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB產(chǎn)生信號(hào)，以及亞穩(wěn)態(tài)氦與組分或雜質(zhì)反應(yīng)電離產(chǎn)生信號(hào)等方式，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)氣體的電離。被測(cè)氣體進(jìn)入檢測(cè)器后，在放電區(qū)被激發(fā)并電離，產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下被收集，形成電信號(hào)。通過測(cè)量電信號(hào)的大小，可以得知被測(cè)氣體中雜質(zhì)的含量。

高純氣體分析儀采用中心切割與反吹技術(shù)，配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器，通過無(wú)死體積取樣或在線進(jìn)樣方式，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測(cè)，檢測(cè)限達(dá)ppb級(jí)，重復(fù)性RSD≤1％。

在選擇高純氣體分析儀時(shí)，應(yīng)考慮儀器的靈敏度、重復(fù)性、量程范圍以及自動(dòng)化程度等因素。同時(shí)，還應(yīng)根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的色譜柱和檢測(cè)器。在使用儀器時(shí)，應(yīng)嚴(yán)格按照操作手冊(cè)進(jìn)行操作，確保儀器的正常運(yùn)行和檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。同時(shí)，還應(yīng)定期對(duì)儀器進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)，延長(zhǎng)儀器的使用壽命。