硅分析儀為純水處理和電廠循環化學監測提供ppb級硅和ppb級磷酸鹽的可靠、自動化、在線測量。 硅分析儀將硅儀表與磷酸鹽分析儀相結合，以一個儀表的占地空間提供可靠的測量。

在水/蒸汽循環中，二氧化硅會隨蒸汽揮發并在汽輪機中沉積。 即使是少量的硅酸鹽結垢也會導致機組容量下降，效率降低，并可能導致汽輪機失去平衡。 在最壞的情況下，二氧化硅的積聚會引起振動，最終導致意外停機。 當蒸汽質量差時，二氧化硅沉積物會在很短的時間內積聚； 因此，使用硅分析儀進行持續監測對于及早檢測至關重要。

磷酸鹽處理在電廠的汽包式鍋爐中使用，具有兩種重要作用。 首先，保持鍋爐水中適當的堿度。 磷酸鹽可以控制水垢的積聚，從而有效地排污和防止腐蝕。 硅和磷酸鹽分析儀可監測磷酸鹽含量，從而能夠可靠地控制鍋爐中磷酸鹽的量，同時確保不會出現過高且通常有害的濃度。

在集成電路（IC）表面干燥的硅污染可導致多種質量問題，包括降低膜的粘附力、接觸面阻力。 在確認并修復污染源的同時，樹脂或其他地方的硅含量超標可能會導致生產延誤和收入損失。 要緩解這些問題，可使用硅分析儀來確保持續監測超純水中亞ppb級的硅含量。