色综合99久久久无码国产精品,久久AV无码AV高潮AV不卡,丰满多毛的大隂户毛茸茸 ,日本美女图片

產品推薦:氣相|液相|光譜|質譜|電化學|元素分析|水分測定儀|樣品前處理|試驗機|培養箱


化工儀器網>技術中心>解決方案>正文

歡迎聯系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

為什么檢測CMP研磨液的Large Particle Count(LPC)如此重要?

來源:上海奧法美嘉生物科技有限公司   2024年08月30日 14:29  

摘要:化學機械拋光(CMP)是半導體制造中關鍵的平坦化工藝,而控制研磨液中的大顆粒計數(LPC)對確保晶圓表面質量和提高產品良率至關重要。隨著工藝向更小納米級發展,對LPC的檢測精度要求更高。文章討論了LPC檢測的技術難點,包括高濃度樣品干擾和大顆粒計數量化問題,并提出了自動稀釋技術和高靈敏度的單顆粒光學傳感技術(SPOS)作為解決方案。此外,文章還探討了LPCCMP工藝的影響,包括表面平整度、拋光速率和設備損耗,并提供了從原材料到CMP slurry制造端的整套LPC監控方案,以優化工藝參數和保證設備穩定運行。

 

 

關鍵詞:大顆粒計數,LPC,化學機械拋光,研磨液,Slurry

免責聲明

  • 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
  • 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
  • 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。
企業未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618