科學、工業和商業領域的用戶通常采用光譜法分析材料中的不同成分。在許多情況下，主要和次要元素濃度的精確測定是至關重要的。

在傳統觀念當中，常常采用波長色散型X射線熒光光譜儀做這些應用，因為其可以提供所需的精密度。而能量色散型X射線熒光光譜儀常常被認為只能做定性半定量的分析，應用到快篩分析，比如RoHS檢測、固廢回收等領域。

但事實上，能量色散型X射線熒光光譜儀經過這么多年的發展，其精密度已經能與WD-XRF相媲美。特別是SPECTRO分析儀器公司的SPECTRO XEPOS光譜儀。

SPECTRO XEPOS配備強制風冷式的50W端窗X射線管，針對最大能量產生進行了優化。該X射線管配備了厚度、鈷鈀二元合金靶材為主要感興趣元素提供了良好的激發條件。再者，搭配直接激發、偏振激發和通帶濾光片光路系統，針對特定元素進一步激發，提高了靈敏度。

圖1. SPECTRO 激發光路系統

我們使用SPECTRO XEPOS對地質礦物樣品（采用熔片法制樣）進行7天35次分析，結果如下表顯示。

重復性試驗結果顯示，就算是Na、Mg、Al、Si等這些“輕”元素，在能量色散型X熒光光譜儀中常常被認為測不好的元素，其精密度都是非常高的。

表1.  7天重復性試驗的分析結果

通過測試，SPECTRO XEPOS具備高精密度與準確性，其性能與WD-XRF相當，也能滿足實際的高精度分析的測試需求。