超景深顯微鏡,是一種連續變倍的光學顯微鏡,景深比較大是它的特色,在它的景深范圍內都能清晰地看到檢測對象,檢測視域范圍更廣,工作距離更長,還能進行3D測量,是集光學技術、光電轉換技術及電子顯示技術于一體的產品。
超景深顯微鏡是一種新的顯微鏡技術,其大的特點就是可以在深度方向上實現超深度成像。與傳統的顯微鏡不同,超景深顯微鏡能夠穿透樣本的厚度,顯示出在靠近和離遠鏡片表面深度處的具體信息。這種技術基于光的波動性,通過特殊的算法處理和計算,使得圖像具有高分辨率,為生物科學、材料科學、電子工程等領域提供了更加精密的研究工具。
如在在材料科學、半導體等領域中,白光干涉儀與共聚焦顯微鏡同為微納檢測的利器,但白光擅長亞納米級光滑表面的檢測,追求檢測數值的準確;而共聚焦擅長微納級粗糙輪廓的檢測,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。
超景深顯微鏡會采用特殊的光源和照明系統,以此確保樣品在較大的深度范圍內得到均勻照明。其次顯微鏡會通過使用特殊的光學元件,例如透鏡、液晶空間光調制器等等,以實現對光波前的編碼,從而改變光的傳播特性,這樣可以在一定范圍內增加景深,使不同深度的樣品部分同時清晰可見。
另外超景深顯微鏡中的光學透鏡系統中包含了一些特殊設計的元件,這些元件可以提升顯微鏡在深度方向的解析能力,涉及使用非球面透鏡、多層透鏡組合等等。
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