Bruker布魯克 JV-QCVelox 產 品 概 述

Bruker’的 JV-QCVelox 是長期運行的 JV-QC 儀器中HRXRD。
它是化合物半導體行業高分辨率 X 射線衍射的專用質量控制工具。 它適用于表征所有常見的半導體襯底，包括Si、GaAs、InP、GaN 等。
測量可以部分或自動化運行，用戶可自定義的腳本處理日常工作。

VeloMAX™ 光學器件：通過 10 倍以上的強度改進實現高生產率

JV-QC-Velox 系統的入射光束包括許多標準功能以獲得高強度。 晶體選擇根據材料進行了優化：

·在不損失分辨率的情況下，提高了通量并提高了可重復性。
·在不降低分辨率的情況下，可以實現比以前更快的測量和更高的精度。 這是在 MQW 分析中保持準確的成分值的關鍵。
·多層反射鏡作為所有 JV-QC-Velox 系統的標準配置
·對于高鑲嵌樣品，使用 25 英寸的調節晶體發散角來增強系統（標配）
·對于傳統的 III-V 系統，可以提供更高分辨率的調節晶體 (<10”) 來代替 25” 晶體（需要在采購訂單上注明）
·系統的校準可以輕松安全地進行，機柜中沒有開梁。

·檢測器級包括許多標準功能，可以增強系統的能力
·EDRc（增強動態范圍）檢測器的動態范圍 > 2x107
·自動衰減器，通過控制軟件進行控制。這將系統動態范圍增加到超過3x108

·三軸晶體是獲得所需晶體的關鍵GaN測量的分辨率。
·電動探測器狹縫允許對系統進行控制分辨率，無需手動更換模塊
·所有探測器級組件都是自動對齊的通過電腦