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X射線鍍層測厚儀物質經X射線或粒子射線照射后，由于吸收多余的能量而變成不穩定的狀態。從不穩定狀態要回到穩定狀態，此物質必需將多余的能量釋放出來，而此時是以熒光或光的形態被釋放出來。熒光X射線鍍層厚度測量儀或成分分析儀的原理就是測量這被釋放出來的熒光的能量及強度，來進行定性和定量分析。
注意點：
1）循環水。循環水恒溫設備主要給射線源提供相對恒定的溫度環境。射線源的溫度波動將直接導致射線能量的變化，致使測量結果波動。循環水溫度一般設定在 20℃ ±1℃。注意檢查循環水的回水流量、水溫是否正常。
2）壓縮空氣。壓縮空氣的用途主要是吹掃射線束內的雜物、油霧等，如果壓力不足，會使吹掃效果下降，影響測量結果。還有的測厚儀使用氣缸驅動標樣和快門。巡視設備時應檢查空氣壓力是否符合設計要求，濾芯是否需要更換。
3）C型架上告警燈的狀態。告警燈的狀態應正確，否則說明測厚儀存在某種故障。從安全的角度考慮，即使確認測厚儀沒有功能上的故障，僅僅是燈泡損壞，也應及時更換，以防止意外的輻射傷害。
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