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等離子表面處理儀是一種緊湊的大氣離子表面處理噴射系統，主要由射頻發生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件下，迅速活化和清理材料表面。為了獲得高質量的外延薄膜或者光學涂層，預先進行表面處理可以得到好的效果。
等離子表面處理儀的優點：
1.可清除表面有機污染物。
2.清洗快速、操作簡便、使用和維護成本較低。
3.非破壞性、對被清洗物表面光潔度無損害。
4.綠色環保、不使用化學溶劑、無二次污染。
5.常溫條件下清洗，被清洗物的溫度變化微小。
6.能清洗各種幾何形狀、粗糙程度各異的表面。
應用：
1.表面清洗：設備生產的等離子體內有大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，通過物理及化學反應，將表面污染物、雜質清除，達到表面清洗的作用。
2.表面改性：等離子體與物體表面發生反應，使得物體表面的化學鍵斷裂，等離子體中的自由基反應生產新鍵，大大提供表面活性，有利于粘接、涂覆等工藝。
3.表面刻蝕：通入腐蝕性氣體進行等離子體反應時，氣體與物體表面反應生產揮發性物質，通過真空泵抽離，在表面形成需要的圖案、形狀，完成刻蝕效果。
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