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影像測量儀器常見的故障分為升降驅動故障、工作臺故障、投影屏幕故障、投影成像故障、圖像顯示故障、電力故障、電子故障和精度故障等。
1.起升驅動故障。一般有升降有異響.不能上升、下降、下降時有跌落感、反彈、傳動時空回隙大、微調無傳動、投影屏松動等。
2.工作臺失效。通常易發生光桿空轉、光桿驅動有反彈、傳動時不順、工作臺移動有響聲、工作臺移動有卡滯等。在排除故障時，要找到故障的原因，然后對癥治療。可調簧的螺釘松緊、更換軸承、重新上油、加潤滑油、換光桿、調整或更換光桿支架等。
3.投影屏幕失效。轉動有聲音響時，可以清除端面的雜質(如銹跡)、更換定位軸承等。轉動時力大，可以松開鎖緊螺釘，或更換轉動。當轉動不均勻時，可以更換新的輪磨輪軸等。當投影屏幕旋轉不計數時，可以扭緊角度磨磨機器，焊接好信號線，接插器等。
4.投影儀故障。影像模糊不清.成像有暗區.圖像有黑色斑點.成像對比光線較暗等，可與物鏡、投影屏、工作臺玻璃.聚光鏡.反光鏡等清潔。調整或更換燈絲。當燈泡電源電壓過低時，增加一個總電源穩定器。
5.影像成像失效。當顯示黑屏幕時，可查看電源線是否接通，電源電壓等，插入顯示器信號線，如果有部件損壞，則需更換顯示器或交叉生成器。在物鏡和瞄點偏差較大時，應重新調整鎖鏡筒的螺絲，或更換鏡筒。在測試工作的某一面出現暗影時，可以調整相機或照相機或玻璃四個角上的螺釘，將工件擺正。
6.電氣故障。一般故障有燈泡不亮.軸流通風扇不轉.燈泡容易燒壞.熔斷保險絲.變壓器過熱，損壞等。
7.電子故障。按鍵失效，可系統總清.換新面罩；如軸數不計數，可更換滑座或OP板或全尺.重新接通信號線.更換主機板等。如果數碼管缺少，需要更換或修理。
8.精度故障。含x.y.z軸精度不準.兩坐標測量精度較差.角度示值誤差較大.不同平面測量誤差較大等。處理這類故障時，要注意校正。
如果想讓影像測量儀少發生故障，就要注重平時對儀器進行保養。儀器存放環境相當重要，應放在清潔干燥的房間里，避免光學零件表面發霉、金屬零件生銹、塵埃雜物剝落等。件表面要保持清潔，不可以用手觸摸，要經常進行清潔。
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